| 摘要： | 本发明的典型之处是创造了一个微机械的转速传感器，它具有安装在基片表面的第一科里奥利质量部件和第二科里奥利质量部件。典型的微机械转速传感器含有一个激励设备，第一科里奥利质量部件和第二科里奥利质量部件能够通过它使振动沿着第一轴传导。微机械转速传感器还含有一个检测设备，它能检测出第一科里奥利质量部件和第二科里奥利质量部件在第二轴方向的偏转，第二轴以相应的科氏力为基平面并垂直于第一轴方向。第一轴与第二轴是平行于基片表面的。检测设备分别含有第一质量检测设备和第二质量检测设备。第一科里奥利质量部件，第二科里奥利质量部件，第一质量检测设备和第二质量检测设备在处于静止时，它们的重心会一致重合于一个公共质量的重心。 |