公开号：	US2007113664A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	容性微机械声换能器
摘要：	微机械容性声换能器包含一个由冲孔板制成的电极，还有一个由浅波纹状薄膜制成的电极，固定在基板的一个或多个位置上，基板也是支撑上述冲孔板的。另外还包括：固定的冲孔板；可移动的浅波纹状薄膜，上边有滤声作用的孔，实现在一定频率或是一定频率范围内的滤声作用，该频率范围是从某一或是多个固定位置而其他位置相对松散的冲孔板隔离出来的；冲孔板的支撑结构保证薄膜和冲孔板边界之间的最小间隙。