公开号：	US2007119252A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	三轴加速计
摘要：	在当前发明中，有一种微电动机械的(MEMS)过载信号器，包括基体、一个主传感器和一个次传感器。主传感器是用来测量与基体平行的第一个轴向的加速度。次传感器是用来测量垂直于基体的轴向加速度。次传感器包括一条主梁、一条次梁和一个单独支撑结构。该单独支撑结构支撑主梁和次梁，在其中主梁和次梁包围第一个传感器。