公开号：	US2007120060A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	带有热障的热量传感器
摘要：	这项发明提供了一种传感器元件，它是在基底形成的并且具有热障，倾向于在传感器元件和热源之间，在别处提供。热障包括至少一对在基底内形成的深沟，每个沟被腔隔开。