公开号：	US2006128590A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	洗涤剂
专利名：	去除基板污染物的方法和制作清洗液
摘要：	提供了一种方法去除基体污染。该方法包括应用了一种具有分散质、连续相的清洁剂且颗粒分散在连续相为基体的表面。该方法包括强迫其中的粒子分散在接近基体污点的连续相中，。这种强迫力足以克服颗粒和表面的污染物之间的斥力，使其中的粒子和表面的污染物相接近。该方法还包括去除基板表面的相接触的粒子和表面污染物。还提供了清洁材料的生产过程。