公开号：	US2006217278A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	洗涤剂
专利名：	用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物和方法
摘要：	用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物包括：质量分数大约为0.1%到10%的烷基苯磺酸基混合物；质量分数大约为10%到99%的乙二醇混合物，和质量分数大约为0.5%到5%的阻蚀剂。