公开号：	US2007129274A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	洗涤剂
专利名：	薄膜晶体管面板的制造及清洁
摘要：	薄膜晶体管阵列面板的制造方法包括：在基板上沉积包含铝的第一薄膜、通过光刻法和蚀刻法对第一薄膜进行图案化、清洁包括第一薄膜的基板、以及在已清洁的基板上沉积第二薄膜。清洁是通过使用包含超纯水、环胺、焦酚、苯并三唑、以及乙二醇一甲醚的清洁材料进行的。该清洁材料包含大约85wt％至大约99wt％的超纯水、大约0.01wt％至大约1.0wt％的环胺、大约0.01wt％至1.0wt％的焦酚、大约0.01wt％至1.0wt％的苯并三唑、以及大约0.01wt％至1.0wt％的乙二醇一甲醚。