公开号：	US7273060B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	洗涤剂
专利名：	采用发泡技术处理基体的化学方法
摘要：	本发明涉及的组合物和方法，是通过含有至少一个化学处理剂的发泡技术来处理基体表面的。特别的所述发明还涉及到去除小面积基体表面的非期望物质，其中非期望物质可能由有机和无机化合物组成，如来自感光性树脂材料的粒子、膜等。此发明还能追踪任何其他杂质，如在平面或者蚀刻法期间存在的金属。根据本发明提供的方法，用液体组合物形成泡沫处理基体表面，其中液体组合物含有一种气体，一种表面活性剂，至少一个氟化物组中的成分，一个胲，一个胺和碘酸，和基体表面接触的泡沫，去除基体表面的非期望物质。