公开号：	US7452426B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	洗涤剂
专利名：	含有表面活性剂的加工溶液被用作后化学机械平坦化试剂
摘要：	含有一种或多种表面活性剂的加工溶液被用于减少手工制作的半导体设备的缺陷数量。在某些较好的产品中，本发明设计的溶液可以被当作漂洗溶液，在CMP生产过程中或生产之后减少缺陷的产生。在前CMP生产过程中使用本发明的溶液以养活缺陷的数量的方法也被阐述。