公开号：	US2007126454A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	检测基底缺陷的仪器和方法
摘要：	检测基底缺陷的仪器和方法包括一个用以检测电源电压的变化趋势的检测单元，这个变化发生在当一个基底被电源加热时，该电源通过电容器放电产生电压。还包括一个测试单元，用以比较检测到的趋势和预先设定的变化趋势，从而将比较结果作为一个终端信号输出，该信号指示基底是否有缺陷。