公开号：	US2008078246A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	关于MENS陀螺传感器的方法和仪器
摘要：	一个能感应旋转轴角速度的陀螺传感器，它包括一个驱动质量，经受平面内振荡的直线运动；和一个敏感质量，经受平面外振荡运动，作为角速率函数。一个连接弹簧组件将敏感质量连接到驱动质量，如此敏感质量本质上与驱动质量相分离关于驱动质量振荡直线运动，但与驱动质量相连接关于敏感质量平面外的振荡运动。