公开号：	US2008094075A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	微机械电容传感器及联动装置
摘要：	根据本发明，一个表面电容传感器与常规宏观结构驱动器机械连接，可高精度测量驱动器在测量轴方向上的位移。