公开号：	US2008100850A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	表面高度和中心传感器
摘要：	提供一个表面高度和中心传感系统。实例中，一个波阵面传感器与瞄准调节器结合，该瞄准调节器可驱动系统使照明中心高度与工件表面高度相匹配，波阵面传感器将产生一个零输出。在零值条件下，瞄准调整量与工件表面高度直接相关，作为结果的高度测定对工件表面的光学特征不敏感。实例中，瞄准调节器的瞄准调准量根据控制信号确定。在另外实例中，还有一个波阵面传感器用来测量瞄准调节量。