公开号：	US2007012859A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	焦点探测装置
摘要：	该发明介绍一种焦点探测装置，光通量变形构件可以改变光源发出的光的断面形状，因此投射到样品表面并被光电探测器接受的光束中的光量和光强的差异就降低了，即使使用物镜在一个光曈直径内进行区分。结果，样品被单点或者多点发散以确定聚焦是否成功。