公开号：	US2006174704A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	加速度传感器
摘要：	一种加速度传感器包括一个具有基板的传感器芯片，一个可移动的电极基板支撑煮了基板，并在加速度方向在一个方向位移，以及、一个固定的电极相对着可移动的电极距离一个检测间隙。该传感器芯片通过粘合剂安装在一个包上。粘合剂的粘合区域是在加速度的方向的。这种胶粘剂的布局防止由热应力引起的传感器芯片基板在加速度的方向的扭曲。因此，检测差距难以随温度变化而变化。