公开号：	US2006185424A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	集成测试仪器
摘要：	本表面分析系统包括一个同时含有一个像散射仪之类的集成光学仪器和一个像扫描探针显微镜或者像扫描电子显微镜之类的悬臂梁成像系统之类的个体特征测试仪器。一个典型的应用是，两个仪器可以测得被一个普通平台夹持的晶片的特征。此平台可以在预设的范围内移动以允许晶片的相同区域可以被在同一位置的散射仪表征，也可以被扫描探针显微镜或者悬臂梁成像系统表征。散射仪可以迅速的检测到晶片是否存在问题，扫描探针显微镜可以在被散射仪标记过的晶片上进行更细微的测试。