公开号：	US2007272299A1
大类：	国外
行业类型：	机械
行业内分类：	机械传动装置及连接装置
专利名：	下游分离气体的方法及装置
摘要：	本专利发明了一种激活并分离气体的方法及设备，利用腔内的等离子体激活一种活性气体。下游气体位于腔外，利于活性气体与输入的下游气体分离，腔体中被分离的下游气体并不与腔的表面有实质性的接触。