| 摘要： | 一种改进的光学光刻系统和方法提供了一个预定的光图像，其直接写入系统无需光。直接写入系统提供预定的光图像投射到基板上（例如，晶片），用计算机进行控制以便动态生成预定光模式，例如一个空间光调制器。图像模式存储在计算机，并通过空间光调制器的电子控制直接照射在晶圆来定义聚合物排列的部分，而不是由光罩上的图案进行定义。因此，在直接写入系统中，每一个像素是用一个合适的光束密度的光来照射，在光刻录法德每一步，每一个单个特征成像是由空间光调制器的计算机进行控制，而不是用光罩。直接写入系统，包括空间光调制器，在合成的DNA阵列中很有用处，并提供一种有效地聚合物排列分析的方法，其通过空间光调制器来形成一个预定的光图像，定义了聚合物阵列的图像脱保护模式。 |