公开号：	US2007003967A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	酶或微生物的测定或检验方法及相关疾病预防、治疗
专利名：	制造DNA芯片的方法
摘要：	本发明提供了一种制造DNA（脱氧核糖核酸）芯片的方法。在DNA芯片底物上有很多的晶体管，有一层有机层和一个DNA探针有序的堆积在晶体管的入口处。该方法包括在基板上形成晶体管的覆盖层间绝缘层，平面化层间绝缘层，形成至少有两个接触孔，暴露在层间绝缘层的晶体管电极入口，在裸露电极有选择的形成了有机层。同时第一个DFR（干膜抗蚀剂）层与层间绝缘层的上层粘附，在接触孔间的孔，第一个DNA探针与第一接触孔的有机层相粘附，并移除剩余的第一个DFR层的其余部分。