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企业难题需求
公开号: US2008257109A1
大类:国外
行业类型:化学
行业内分类:铁、钢及其他金属的冶炼、加工或精炼
专利名:高纯度材料的高真空原位精制方法和装置
摘要:本发明涉及一种超高纯度材料的高真空原位提炼方法和装置,特点在于,采用双加热丝真空扩散炉分别加热坩埚的上部和下部,从而形成了坩埚上部温度高,下部温度低的温度分布,或在不同阶段相反的结果;然后加热坩埚分两个步骤,分别有效地利用高饱和蒸气压和低饱和蒸气压消除杂质;并最终获得高纯度材料。整个过程是隔绝空气的,可以显著减少污染物。本发明可以提供高品质的产品和性能稳定的高生产能力,因此,质量可靠,无污染。本发明适用于生产高纯度的和超高纯度材料,尤其是对高活性的高纯度材料的生产。
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