| 摘要： | 本发明涉及一种高真空度原位精炼方法用来制备高纯度和超高纯度材料以及这种方法所涉及到的装置，其特征在于单独加热其位于上部及下步的坩埚，通过在真空状态下的双加热线扩散炉，从而形成一个坩埚上部温度高下部温度低的温度梯度，或者是在不同阶段的相反结果；然后通过有效的分别控制高饱和蒸汽压和低饱和蒸汽压这两步来加热坩埚以除杂；最终得到高纯材料。所有的步骤都是在隔绝大气的条件下完成的，从而显著减少材料污染。这个发明能够提供高质量产品、生产率高，从而是可靠的而且无污染的方法。这个发明适用于生产高纯和超高纯材料，特别是生产高活性高纯度材料。 |