公开号：	US2006180250A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	合金材
专利名：	铝-镍-地球稀有元素溅射靶
摘要：	一种铝基合金溅射靶包括镍和一种或多种稀有元素，其中有5.0x10<SUP>4</SUP>/mm<SUP>2</SUP或者更多的化合物，其纵横比为2.5或者更高，并且其直径为0.2mum或者更大，这时其截面的表面垂直于一个被放大2000或者更高倍数的靶子的平面。