| 摘要： | 本专利公开了一种用于纯化玻璃和无机晶体材料的方法，使金属在这过程中的不受到污染。Suchprocessincludestreatingthematerialinthepresenceofapurifyingatmospherecomprisingacleansinggas.这些过程包括在由一种气体构成的保护气条件下处理材料。Theprocessisespeciallyadvantageousfortreatinghighpurityfusedsilicaglassforuseinadvancedlithographicdevices.这个方法尤其适用于高纯电熔石英玻璃在平板装置中的处理过程。 |