公开号：	US2006134919A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	针对基底的一种系统的处理方法
摘要：	去氧化的系统的处理方法有第一处理室和第二处理室，两者之间是相连的。第一处理室包括一个化学处理系统，一个温度控制室和一个能独立控制基底温度的温度控制室，能够满足对基底进行化学处理的需要。基底置于一定的化学气氛下，比如HF和NH3，使之满足一定的表面温度及气体压力。第二处理室包括一个能够控制温度的加热装置，其与化学处理室是绝热的。热处理室能够控制基底的热处理温度，使之在基底的表面进行一些热化学变化处理。