公开号：	US2006169210A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	适合于大面积基底均一加热的反应室
摘要：	本发明主要提供了一个为多数大面积的基片热量处理提供均衡的热量分布的设备。第一个体现是，热量处理大面积基片的设备包括一个联接一个升高的机械并且有很多倾斜区的处理区。升降机适合安置箱里面有多数垂直的处理带。每个处理带进一步包括一个上面的加热板，下面的加热板适合支撑其中的第一个基质，不热的板适合支撑第二个基质，其中不热的板在上面和下面的加热板中间倾斜。