公开号：	US2006216417A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	控制气体注射器的系统
摘要：	一个带有计算机控制注射器的基底的处理系统。计算机被设定去调节多数的注射器，例如在沉积一个多级层的时，在两个不同的层之间沉积，或者是在沉积和清洁反应室这步之间。