公开号：	US2006216419A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	升华床使用载气指导结构
摘要：	本发明提供了一个首选的具体化的升华系统的方法，使用和指导具有高比表面积的支撑的介质在一个固体原料上通过蒸发反应被包覆的具体结构。此方法更适合去指导被设定的带有固体原料的反复充满运载气体去蒸发反应物结构。利用充满运载气体的手段去指导结构的这种方法也被提供。