公开号：	US2006231027A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	锁定负载仪器，处理系统和基底的处理方法
摘要：	一个锁定负载的仪器。包括一个从外面运送基底的输入和输出部分的运输端口，运输端口提供了处理基体的一部分处理方面，包括：控制基底温度的温度控制板，温度控制板被设定，它包括由孔材料制成的板体，温度控制提供气体的反应槽，使板体受温度控制。温度控制气体经过板身，从板身的表面吹熄，供给给基体。