公开号：	US2006236929A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	基质处理仪器及基质处理方法
摘要：	现阶段对基体处理的方法为对基体进行电镀处理或者通过把基体放置于处理液中进行加工。目前对能够对基体进行处理的仪器主要包括：一个能填充/去除区域能够把基体拿出或存入；一个对基体进行清洗的位置；对基体进行电镀的区域。填充/去除区域有一个基体自动传输装置，上面有大量的用于干燥处理的把手，填充端配备一个能够存放基体的盒子，还有一个应用于干燥处理的自动转化仪器装置，能够使基体上下转换。