公开号：	US2006237309A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	一个有较大表面积，且具有较强的磁力支配的弧形蒸发器
摘要：	在整个阴极表面，磁铁存在的目的为控制阳极与阴极之间的电弧，也可以作为一个靶。磁铁可以装在一个弧形蒸发器中，第一磁极系统包括一系列永久磁体，这些磁体位于蒸发器及靶的表面，这样，磁化方向就与靶的表面垂直。磁化引导系统有可能包含一个二级磁化系统，其有一个电磁石固定在靶的后面，此磁化系统位于一个与靶有一定距离的电磁绝缘体内，至少有一个磁极是与靶的表面平行的。最终这两套磁力系统的配合能够使靶被均衡的使用。