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企业难题需求
公开号: US2006240187A1
大类:国外
行业类型:化学
行业内分类:对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名:用电镀铜的方法在隔离层上沉积一层过渡的催化层
摘要:在一个实施方案中,提供一种在基板上沉积导电材料的方法。具体步骤包括:将含有阻隔层的基板暴露在挥发性还原前体中,通过在浸泡形成一层还原层。再把reducing层暴露在催化金属前体中,在阻隔层上沉积得到含金属的催化层,最后在催化层上沉积一层导电层(如铜)
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