公开号：	US2006249229A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	金属层形成方法和电容器电极形成方法
摘要：	一个电容器电极成型方法包括至少一个在底物上至少有一单层厚的金属前体的化学吸收层，化学吸收层可以用氧化剂处理或者移除非金属成份形成一个金属的处理层。一个电容器电极可以被形成包括处理层和可选的额外处理层。最好，处理层不大幅氧化金属层出处理层表现出抑制氧扩散的性质。该化学吸收和处理可以在450°C左右以下或最好低于350℃左右的温度进行。