公开号：	US2006249253A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	传输反应前体到底物处理室的多支管装置
摘要：	一个多支管的活性前体传输装置包含一个有高压室的主体。一个阀门被公认认为接近主体，并至少有两个入口和一个出口。至少有一个阀门进口被配置是为了连接活性前体源。至少有一个出口阀门传输前体进入高压室室内。吹扫流包括一个清除的气腔入口用以接收前体高压室的上升气流。主体有一个高压室出口装置，就可以与底物处理室相连接。在一个实例中，结构是包含在用高压室出口接近并且与底物处理室进口相接来提升主体到底物处理室的主体中。