公开号：	US2006251813A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	在底物上形成材料的方法
摘要：	本发明包括醛固酮型，其中两个或两个以上不同的前体，提供在不同的内室大幅非重叠时间相对彼此形成一个物质的方法，以及此后的材料暴露于一个或多个反应物更改组成材料。在某些方面，利用形成的前体是金属材料的含前体，并利用改变反应物的物质组成包括氧，硅，和/或氮。