公开号：	US2006254521A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	具有线性放电的电子回旋共振（ECR）等离子体源
摘要：	本发明涉及一种电子回旋共振（ECR）离子源可以线性放电（9，27，28，30）。由一个具有居中波配电器并且在线性放电区域有一个多极磁装置的等离子体室组成的。该中心的波配电器至少由两个装配在等离子室（1，2，21，22，32，23）里面不同部分的独立波配电器（3，4）配置。线性局部放电等离子体（7，8，23，24，34，35）和多极磁场的装置（10，11，38，39）在等离子室（1，2，21，22，32，23）的每个部分作准备。至少两个线性等离子体放电开口（7，8，23，24，34，35）被这样的方式安排，它们共同构成至少有一个等离子体放电开口（9，27，28，30）电子回旋共振（ECR）的等离子体源。