公开号：	US2006260749A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	基板处理装置和基板处理方法
摘要：	基板处理装置包括：一个用于处理基板使用过程气体的反应室，在反应室里的一个台阶并固定在基板上，以及将工艺气体引入反应室的淋浴头。淋浴头包括一个由多元化的用来扩散处里气和面对基座的渗透孔组成的气体扩散板。气体扩散板包括一个中心部分和一个比中心部分稍薄的外围部分，并且边缘的渗透孔比中心的渗透孔长度略短。