公开号：	US2006263514A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	提高抵御层形成的设备和方法
摘要：	本发明提供一种提高抗蚀层均匀性的设备和方法。该装置包括一个可旋转的支撑基板，抗蚀剂供应器，井液供给和控制器组成。在操作中，通过井液位置的局部变化来推动被沉积的抗蚀剂蒸发速率的局部变化，以形成一个较大的沉积厚度均匀的抗蚀层。井液供应包括一个压力源，管道和排污口，使得井液冲击到沉积抗蚀层的局部，以此来避免沉积抗蚀层局部发生的厚度变化，或使这种变化出现的几率达到最小。