公开号：	US2006269667A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	用碱性溶液前体进行原子沉积的方法和设备
摘要：	用特殊的原子转移操作形成一个稳定溶液和转移技术的唯一的组合已经可以做到。溶解在溶剂中的低挥发性的固体原子沉积前体被广泛的使用在溶剂中不稳定的溶质可能是稳定的而且所有的溶剂在室温下是可以流动的。溶剂蒸发完之后，气相前体和溶剂被注入沉积室来确保原子沉积层的形成。