公开号：	US2006276037A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	用相同的方法形成导电薄膜的等离子体增强原子层沉积（PEALD）设备和方法
摘要：	增强的原子层沉积（PEALD）装置和形成一个导电薄膜用同样的方法已经被披露。根据现有的增强的原子层沉积（PEALD）装置和方法，根据本发明工艺气体进口润滑油和工艺气体出口管被对称的安装并且集中的考虑基板。从而使工艺气体均匀，平和，平稳地流过基板，从而在基板上形成均匀的薄膜。独特的设计不仅降低了反应器的空间体积，而且可以让气体均匀，平和，平稳地流过整个反应空间，降低了反应空间容量，小体积可以更容易和快速地顺序和重复操作过程气体。