公开号：	US2006278167A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	高温蒸发器单元和蒸发高熔材料的过程
摘要：	蒸发器单元，特别是蒸发一些高熔点材料，包括一个用于接收被蒸发材料的坩埚，和一个用于加热坩埚的电阻加热装置，加热电阻器被作为一个用电子束加热坩埚的电子发射器。一个蒸发高熔融材料的过程也被描述了。