公开号：	US2006281184A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	在化学反应中活跃的脉冲监测
摘要：	在一个确定的系统中确定变化的方法和设备，提供气相反应物在反应室的重复脉冲的描述已经被披露。一个实施例涉及提供了反应物的来源，和连接反应物源到反应室的气体管道，一个连接反应物缘的阀门，用以通过开关阀引发气相反应物从反应物源到反应室发出脉冲还有一个连接反应源提供了一个讯号作为时间函数的反应脉冲特征参数指标的传感器。一个曲线是通过信号和曲线的形状是来监测，以确定在随后的脉冲时间里曲线形状的变化。