公开号：	US2006291834A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	热处理基板的方法和设备
摘要：	该发明的目的是用高温计测量温度，以一个简单和经济的方式使测量更精确甚至是在较低的温度下。发明提出了一种热处理基板的方法和设备，基板暴露在至少第一和第二个辐射中，第一个放射线的波长处在被第一个辐射源和基板吸收之间。基板上的放射线用一个放射线探测器组在和第二个放射源相同的方向在预定波长内测量。第二个放射源发射的放射线是被调制和确定的。