公开号：	US2007000612A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	基板处理装置
摘要：	我们设计的基板处理装置包括一个多功能制程反应室并具有以下几个特点。首先，可以在其中安置基板；其次，包含一个可将调解基板运输至制程反应室的传输箱；再次，包括了轨道式传输装置以移动传送箱。传送箱将基板从外界环境孤立。大多数制程反应室独立安装在传送箱轨道两侧。为响应两侧的制程反应室，每个传送箱具有两个运送端口。