公开号：	US2007009651A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	基板处理方法及基板处理装置
摘要：	本专利适用于同一流水线上通过喷头喷洒不同处理液以处理不同基板。在两个连续的处理过程间隔调整预处理液达到处理不同基板的目的。处理液的预分配需要事先制定好程序。本专利由于采用能提供足够以及必要频率的预分配技术，可显著缩短基板处理的暂停时间。这个专利提高了产量，减少了预分配数量，减少了处理液消耗。