公开号：	US2007020390A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	化学品供应方法
摘要：	当一个贮存有起始原料的圆柱型化学气相沉积仪器逐渐变空，相同的化学物质能在很短的时间内进入该贮存器而不必更换容器。通过管道，化学物质可以从贮存它的容器进入圆柱型化学气相沉积仪器。化学物质在贮存器内由氦气保护。化学物质的传送由氦气压力差驱动。