公开号：	US2007022949A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	高压处理装置
摘要：	处理液通过传输路径上的压力容器垂直入射到旋转基板W的表面S1上。处理液的溶液帘宽度大于基体的直径。因此处理液的清洗过程可以在旋转基板的整个表面上进行。