公开号：	US2007022958A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	污水中氟气体的消减
摘要：	本专利涉及一种污水处理系统200，可用于消减工艺腔设备污水中F<SUB>2</SUB>气体含量，例如化学气相沉积室清洗过程中产生的污水。该系统包括一个用于减少污水100中的F<SUB>2</SUB>含量的催化反应器250，和一个预洗涤装置230，用于在污水100进入反应器之前向其中添加反应气体，对污水100进行预处理。此外也可以利用气源220将反应气添加到的污水100中。