公开号：	US2007026151A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	流体沉积综合设备工具
摘要：	描述了一个包含主室、负荷室、一个液相沉积室和净化器的综合设备工具。加负荷室主大厅连接到接受和配置一个或多个基质。流体沉积室主会场相,并包括了一个流体沉积装置配置存放流体在一个或多个基质。遥控设备被包括在主室时,遥控设备配置为将一个或多个基质的负荷之间室和流体沉积室。环境控制器配置是为保持充分自主环境在集群内部的工具。