公开号：	US2007051315A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	纳米粉体制备装置及制备方法
摘要：	本发明提供一种纳米粉体制备装置，该装置包括：一个激光产生器，用于产生激光束；一个反应室，其具有一允许激光束通过的入射窗；一个抽真空装置，用于对反应室抽真空；一个反应气体输入装置，用于向反应室内通入反应气体；一个微波产生单元，用于产生微波进入反应室，并于反应室内产生微波电子回旋共振；以及一个粉体收集单元，用于收集反应气体发生反应生成的粉体。