公开号：	US2007057625A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	有机发光显示器及沉积法
摘要：	本发明公开了一种有机发光显示器和沉积法，用于通过将Ar与比Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法沉积电极或钝化层。本发明提供一种有机发光显示器，包括：基板；形成在基板上的薄膜晶体管；形成在薄膜晶体管上的第一电极；形成在第一电极上的有机层；及通过将Ar气体与比所述Ar气体重的惰性气体混合，利用箱式阴极溅射法或对面靶溅射法溅射沉积在有机层上的第二电极。